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        博諾格儀器

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        氣體質量流量計/控制器

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        Line Tech氣體質量流量控制器

         

        產品特點:

        • 快速的響應時間
        • 無泄漏
        • 較好的抗腐蝕性
        • 卓越的線性
        • 較高的長期穩定性
        • 寬泛的壓力范圍
        • 模塊化設計
        • 較高性價比

         

        技術指標:

        流量范圍
        10SCCM-125SLPM
        響應時間
        ≤2sec
        準確度
        ≤1%FS
        重復精度
        ±0.25%
        輸入/輸出信號
        0-5VDC,4-20mA
        供電電源
        +15~28VDC,350mA
        耐壓
        <9MPa
        工作環境溫度
        0-50℃
        泄漏率
        1*10-9atm.cc/sec

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